单晶炉高效热场的优化与应用

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主要通过对热屏、下反射板及保温筒等部件的改造,以及钼导、碳毡、碳碳复合材料的灵活使用,有效降低了22寸热场的运行功耗,提高长晶速率,达到降本增效的目的,进而为公司创造更多的经济价值。
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