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Sol—gel法制备BZT铁电薄膜,用X射线衍射仪(Bsx3200)和扫描电子显微镜研究了BZT的结构和表面形貌,用差热-热失重(TG—DTA)分析谱分析BZT粉体的退火工艺。测定了薄膜的电性能:薄膜不加偏压下的介电常数大约为620左右,介电损耗和调谐量分别为0.0335和48.63%。