AFM阳极氧化相关论文
通过对利用原子力显微镜(AFM)阳极诱导氧化作用下在硅表面生成纳米氧化结构的特征的讨论,发现通过改变加工时的偏置电压和脉冲宽度,氧......
Si纳米氧化线是构筑基于Si的纳米器件的基础。通过AFM针尖诱导阳极氧化加工的n型Si(100)的实验得到凸出的n型Si(100)氧化物高度和偏置......
在新型超高速光导开关的研究中,采用AFM阳极氧化加工方法,加工利用磁控溅射方法在GaAs衬底得到的厚约3nm的钛膜,形成纳米级氧化钛线.该......
通过改变AFM阳极诱导氧化加工点结构时的偏压和脉冲时间,发现氧化点高度和宽度与所施加偏压呈对数关系,并且发现氧化点高度与宽度与......
利用扫描探针显微镜针尖诱导氧化加工纳米级Ti膜,形成的氧化物TiOx和Ti膜,构成金属-绝缘体-金属结构,从而可以实现加工各种纳米器......
光导开关因其机械结构简单、响应速度快、触发稳定、灵敏度高、实现了光电隔离等诸多优点而在高功率超宽带脉冲产生领域和超快电子......
利用扫描探针显微镜针尖诱导氧化加工纳米级Ti膜,形成的氧化物TiOx和Ti膜,构成金属-绝缘体-金属结构,从而可以实现加工各种纳米器......
纳米技术发展的最终的目的是加工出特定功能的纳米器件。本文结合光刻工艺、磁控溅射技术和AFM阳极氧化方法加工了超高速光电导开......
随着微电子技术和光电子技术的发展以及器件的微加工技术的不断提高,超高速电子器件及超高速光电子器件在信息领域扮演着越来越重......