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ＣｏＭｎＮｉＯ非晶薄膜经金属离子注入后导电能力增强，材料电阻率下降：Ｘ射线和扩展电阻测量表明：随着注入剂量的增加，薄膜的晶化温度降低，电阻率下降．这些结果表明金属离子在薄膜中可能形成高电导网络，提供载流子输运第二沟道．这些高电导网络与非晶薄膜的多重网络进行补偿．使材料的电阻率降低．
金属离子在氧化物非晶薄膜中的行为
【摘 要】
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ＣｏＭｎＮｉＯ非晶薄膜经金属离子注入后导电能力增强，材料电阻率下降：Ｘ射线和扩展电阻测量表明：随着注入剂量的增加，薄膜的晶化温度降低，电阻率下降．这些结果表明金属离子在薄膜中可能形成高电导
【机 构】
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中国科学院新疆物理所,新疆大学物理系
【出 处】
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新疆大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1994年4期
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