俄歇电子谱仪在金属材料中的应用

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<正> 一、引言 1967年L.A.Harris采用电子能量分布微分方法,使二次电子能量分布曲线上的俄歇峰同强大的本底和噪声区分开来,从此,俄歇电子谱(AES)成了一种有效的表面分析方法;1969年,因筒镜电子能量分析器应用于俄歇电子谱仪,进一步改善了仪器的分辨率、灵敏度和分析速度。进入七十年代以来,俄歇电子能谱已迅速地发展成为强有力的固体表面分析手段,并正在得到愈来愈广泛的应用。
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