白光干涉仪中光源参数的优化选择

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在白光干涉仪巾,白光光源的参数决定了干涉条纹的分布,对中心条纹的识别精度产生直接影响。采用不同光谱形状的光源或改善光源的光谱形状可提高零级条纹的可见度,利用多个门光光源构成组合光源来改变光源的光谱形状是提高零级条纹可见度的有效方法。在提出组合光源参数优化设计方法的基础上,理论分析得出了双组合光源和三组合光源优化设计的简洁公式。计算机模拟及实验结果表明,经优化设计后组合光源产生的干涉网,其零级条纹可见度大大增加,更有利于提高系统的测量分辨率。
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