【摘 要】
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设计了基于绝缘层上硅(SOI)材料的8通道Si纳米线阵列波导光栅(AWG),器件的通道间隔为1.6nm,面积为420μm×130μm。利用传输函数法模拟了器件传输谱,结果表明,器件的通道间隔
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室,
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设计了基于绝缘层上硅(SOI)材料的8通道Si纳米线阵列波导光栅(AWG),器件的通道间隔为1.6nm,面积为420μm×130μm。利用传输函数法模拟了器件传输谱,结果表明,器件的通道间隔为1.6nm,通道间串扰为17dB。给出了结合电子束光刻(EBL)和感应耦合等离子(ICP)刻蚀技术制备器件的详细流程。光谱测试结果分析表明,器件通道间隔为1.3～1.6nm,通道串扰为3dB,中心通道损耗为11.6dB。
An 8-channel Si nanowire arrayed waveguide grating (AWG) based on insulating-layer-on-silicon (SOI) material was designed with a channel spacing of 1.6 nm and an area of 420 μm × 130 μm. The transfer function was used to simulate the transmission spectrum of the device. The results show that the channel spacing of the device is 1.6nm and the crosstalk between channels is 17dB. The detailed process of preparing devices by EBL and inductively coupled plasma (ICP) etching is given. Analysis of spectral test results show that the device channel spacing of 1.3 ~ 1.6nm, channel crosstalk 3dB, the center channel loss of 11.6dB.
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