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针对晶圆测试过程不同测试温度下出现的针痕不佳问题,研究探针卡的基板材料在此问题中产生的影响。通过实验,收集常见基板材料在不同测试温度区间里的表现,并对不同测试温度区间进行不同基板材料的匹配建议。基于此建议的有效实施,可以避免测试过程中由于测试温度提高而导致基板形变,产生测试不良的问题。
晶圆测试温度对探针卡PCB基板材料影响的研究
【摘 要】
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针对晶圆测试过程不同测试温度下出现的针痕不佳问题,研究探针卡的基板材料在此问题中产生的影响。通过实验,收集常见基板材料在不同测试温度区间里的表现,并对不同测试温度区间进行不同基板材料的匹配建议。基于此建议的有效实施,可以避免测试过程中由于测试温度提高而导致基板形变,产生测试不良的问题。
【机 构】
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上海华虹宏力半导体制造有限公司
【出 处】
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电子技术
【发表日期】
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2020年01期
【基金项目】
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上海市经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项基金（1500223）；
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