【摘 要】
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分别采用具有和不具有弯曲弧磁过滤器的两种真空阴极弧离子镀方法 ,在不同工艺参量下制备了类金刚石碳膜 .采用Raman光谱和X射线光电子能谱 (XPS) ,分析了不同工艺参量下的类
【机 构】
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分别采用具有和不具有弯曲弧磁过滤器的两种真空阴极弧离子镀方法 ,在不同工艺参量下制备了类金刚石碳膜 .采用Raman光谱和X射线光电子能谱 (XPS) ,分析了不同工艺参量下的类金刚石碳膜的键结构 ,通过对Raman光谱的D峰、G峰和C1s电子结合能峰位、强度的对比 ,详细讨论了沉积工艺参量对类金刚石碳膜结构的影响 .研究发现 ,不同工艺下具有高强度D峰Raman光谱的类金刚石碳膜 ,其C1s电子结合能却分别位于 2 84.15 ,2 85 .5 0eV ,表明高度石墨化和高度金刚石化两种状态类金刚石碳膜 ,都可以形成具有高强度D峰Raman光谱曲线
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