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选用4种不同的N+注入剂量,即3×1017、6×1017、9×1017和2×1018cm-2,对Ti6Al4V合金进行离子注氮,使其表面形成一层改性层。通过俄歇电子能谱,分析了在钛基合金上注入不同剂量的氮离子后,其表面原子的分布情况。结果表明:最大浓度时的深度RP和最大相对浓度Cmax并不随注入剂量的增加而无限增大,注入剂量超过9×1017cm-2后,最大浓度时的深度RP将向试样表面移动;注入剂量超过6×1017cm-2后,最大相对浓度Cma