【摘 要】
：
本文简述了干法刻蚀的现状和Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘ － ＩＣＰ 的结构原理， 给出了高纵横比微孔列阵的初刻实验结果， 并对有关参数进行了初步讨论
In this paper, the current situation of dry etching and
【机 构】
：
长春光学精密机械学院,长春光学精密机械学院,长春光学精密机械学院,长春光学精密机械学院,长春光学精密机械学院,长春光学精密机械学院
论文部分内容阅读
本文简述了干法刻蚀的现状和Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘ － ＩＣＰ 的结构原理， 给出了高纵横比微孔列阵的初刻实验结果， 并对有关参数进行了初步讨论
In this paper, the current situation of dry etching and the structure principle of Multiplex - ICP are briefly introduced. The initial experimental results of microporous arrays with high aspect ratio are given, and the relevant parameters are discussed preliminarily
其他文献
艾米莉·勃朗特出生在英国的一个穷教师家里。她很小的时候,母亲就去世了。年幼的艾米莉和姐姐夏绿蒂,一同挑起了生活的重担。每天,姐姐都要到有钱的人家去当家庭教师,她就在
现施工单位中所使用的QT25型塔式起重机其塔身为固定高度23m,若要进行预制厂构件或民用底层吊装时,由于该机为上操作室,塔身高,视线差,给工作带来诸多不便。我公司根据实际
幼稚的心灵会因善良而美丽,灵魂的堕落会因博爱而升华,一个温馨仁爱的善举会改变我们的一生,让我们的心灵更充实,更富有。
The naive soul will be beautiful and good, the
加气砼砌块内墙面抹灰发生空裂是常见质量通病,也是施工单位的一个老大难问题。几年来,六公司二处从实践中总结出一套加气块内墙抹灰的刮浆分层抹灰法。经过工业品贸易中心
如何从理性的、法律的角度,研究验资不实的民事责任问题,无论是现在还是今后,对增强注册会计师的执业风险意识,减少注册会计师涉诉案件的发生,都大有裨益。笔者不揣浅陋,就此
实验在发明中发挥着重要的作用。在《发明哲学》中,德克斯对发明、实验与科学理论之间的关系进行了独特的论述。他认为所有理论都是有用的,尊重事实的理论容易被引入实验。在
“我的脸颊顿时滚烫滚烫的,我惭愧地低下头,恨不能找个地缝钻进去。”好多小朋友都这样写难受的心情,因此写法一般化。如果能巧妙地运用比喻来描写心理,那么会更贴切,更有感
“嗯,这篇文章挺有意思,很生动——”你听,我们班“人气最旺”的男性公民——张洪涛老师又在眉飞色舞地给我们上作文评讲课了,“这个孩子居然在文中称我为‘张郎!’“蟑螂!”
雨后,院子的一角积满了水,我就折了许多小船带领幼儿去放船,孩子们玩得高兴极了,要求老师教他们折船。为了让幼儿更好地理解折纸的步骤,我在做折纸示范时,让幼儿边看、边听
随着我国广告业的迅猛发展,广告纠纷亦随之大量出现,其中不少纠纷是因虚假广告引起的。受害者多依《广告法》第38条之规定,将广告发布者告上法庭,要求其承担赔偿责任。但广