【摘 要】
：
应用纳米原位压痕仪对单晶硅(100),(110),(111)晶面进行纳米压痕实验,对材料的弹性模量和硬度进行考察。实验结果表明:单晶硅(111)晶面相对于其它两个晶面具有较小的弹性模量
【机 构】
：
哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨工业大学机电工程学院 哈尔滨150001,哈尔滨150001,哈尔滨150001
论文部分内容阅读
应用纳米原位压痕仪对单晶硅(100),(110),(111)晶面进行纳米压痕实验,对材料的弹性模量和硬度进行考察。实验结果表明:单晶硅(111)晶面相对于其它两个晶面具有较小的弹性模量和硬度值。通过单晶硅不同晶面原子结构分析,认为晶面原子层的间距分布差异是各晶面弹性模量差异的主要原因。
The nanoindentation experiment of monocrystalline silicon (100), (110) and (111) crystal planes was carried out by using in-situ indenter, and the elastic modulus and hardness of the materials were investigated. The experimental results show that the single crystal silicon (111) crystal plane has smaller elastic modulus and hardness value than the other two crystal planes. By analyzing the atomic structure of different crystal planes of single crystal silicon, it is considered that the difference of the atomic layer spacing is the main reason of the difference of the elastic modulus of each crystal plane.
其他文献
随着昆虫飞行机理和仿生扑翼飞行研究的不断进展,理解昆虫的传感系统并研制适于微型扑翼飞行器的仿生传感器逐渐成为目前关注的焦点,而MEMS的快速发展使得研制新型的仿生微型传感器成为可能。简要介绍仿生扑翼飞行中传感系统研究现状,对昆虫飞行中采用的力传感器原理、分类进行了介绍;重点分析了几种典型的力传感器;归纳和总结了基于昆虫毛状传感器、钟状传感器和平衡棒仿生,采用各种MEMS技术研制的微型力传感器的生产
齿科铸造合金广泛应用于口腔修复,修复体在口腔环境中行使功能时,会发生电化学腐蚀,其中应力腐蚀破裂是危害性最大的一种腐蚀形式.本文就齿科铸造合金应力腐蚀破裂的研究进展
文章针对不同厂家的80c31微处理器,利用重离子、锎源模拟源进行单粒子效应地面试验研究.详细介绍了80C31微处理器单粒子效应试验原理、试验方法、试验系统的软硬件组成以及试
介绍了一种线阵CCD信号采集和处理系统.利用仪表放大器对CCD输出信号进行滤波和放大,然后进行A/D变换.使用了双端口存储器,一组端口用于存储A/D转换结果,另一组实现单片机的
介绍基于Windows网络编程的方法实现遥感数据的地面实时下传通信接口,主要包括Windows网络操作系统下命名管道和Winsock通信的实现以及对遥感数据的解包处理过程.经过试飞验
简要介绍了线阵CCD和SPI的工作原理,以TCD1208AP和单片机内嵌SPI为应用对象,设计了SPI与线阵CCD的接口.具体内容包括:CCD驱动电路,CCD输出信号处理电路和数据接收方法.实验表
按照对城市规划政策的不同的影响程度,将其他相关部门的政策分为最相关政策、次相关政策、一般性相关政策和特别政策四类,结合规划实践,对政策如何影响城市规划编制,以及如何在规划中利用有利政策增强规划边际效益进行了阐述。认为城市规划并非单向响应政策的要求,城市规划对其他部门空间政策制定的导向作用也需要在城市编制中予以明确,使规划的实效性最终体现于"从政策中来,到政策中去"。
创新能力是决定国家或地区国际竞争力和经济增长的关键因素之一.而准欧盟国家与欧盟成员国相比,创新活动明显偏少,尤其波兰的创新活动相对来说更具地方性特征,这就需要制定有
利用全生命周期成本LCC理论对地下变电站的各环节——前期设计建设成本、投资成本，中期运行维护成本以及可靠性成本，末期的残值回收成本等——进行分析，并结合上海世博地下变电
沙漠生态建设与沙漠资源开发,已经成为我国21世纪全面建成小康社会和建成和谐、文明、发达社会主义现代化强国的重要经济社会发展战略.我国已经通过国家投资与社会各界、企业