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RF MEMS开关将成为微波、高频信号控制的关键器件。针对其驱动电压过高，不能满足现代通信系统低电压的要求，推导了电容式RF MEMS开关驱动电压的理论公式；基于降低开关柔顺结构的弹性系数、驱动电极上极板与可变电容上极板分离的思路，优化设计了三种具有不同的连接梁和支撑梁结构形式的开关微桥柔顺结构。第一种结构为驱动电极板和电容上极板之间以双直梁连接；第二种结构以一组弹性折叠梁代替结构一中的双直梁；第三种结构是在结构二的基础上，改变了起支撑作用的弹性折叠梁的方向。使用MEMS CAD软件Coventor Wa