【摘 要】
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对掺HCl硅氧化诱生堆垛层错生长的动力学作了进一步的研究,重建了描写掺HC硅氧化诱生堆垛层错生长的动力学方程。
The kinetics of stacking fault growth induced by HCl o
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对掺HCl硅氧化诱生堆垛层错生长的动力学作了进一步的研究,重建了描写掺HC硅氧化诱生堆垛层错生长的动力学方程。
The kinetics of stacking fault growth induced by HCl oxidation was further studied, and the kinetic equation describing the stacking fault growth induced by HC oxidation was reconstructed.
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