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亚100纳米MOS半导体器件技术探讨
亚100纳米MOS半导体器件技术探讨
来源 :世界产品与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:A88851258
【摘 要】
:
尽管在过去40年中,IC行业的基本元件——MOS管和基本的电路拓扑逻辑——CMOS都没有根本性的革新,但可以相信,在今后15年内,MOS和CMOS仍然是工业界的主流。在可以预见的很长的
【作 者】
:
刘文安
黄如
张兴
【机 构】
:
北京大学微电子学研究院
【出 处】
:
世界产品与技术
【发表日期】
:
2003年9期
【关键词】
:
MOS半导体器件
多晶硅耗尽效应
栅介质
载流子迁移率
源漏串联电阻
亚100纳米
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尽管在过去40年中,IC行业的基本元件——MOS管和基本的电路拓扑逻辑——CMOS都没有根本性的革新,但可以相信,在今后15年内,MOS和CMOS仍然是工业界的主流。在可以预见的很长的一段时间内,没有任何新器件能够对MOS管的地位形成真正的挑战。
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