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韩国汉城大学一个研究小组近日宣布开发成功一种利用现有集成电路生产设备大量生产纳米元器件的技术，成品元器件具有高集成度和高精度。
韩开发出量产纳米元器件技术
【摘 要】
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韩国汉城大学一个研究小组近日宣布开发成功一种利用现有集成电路生产设备大量生产纳米元器件的技术，成品元器件具有高集成度和高精度。
【出 处】
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机电工程技术
【发表日期】
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2006年12期
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