【摘 要】
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为扩大流速传感器的测量量程和应用范围，设计并制造了一种双加热电阻柔性热膜式微电子机械系统（MEMS）流速传感器，它是由一对加热电阻（也可作为测温电阻）、一对测温电阻和一对环境测温补偿电阻组成。主要对该柔性MEMS流速传感器的测控电路进行仿真设计和风速测试实验研究。基于热温差和热损失的工作原理，使用Matlab/Simulink软件对热敏电阻进行数学建模，并使用Cadence/Pspice软件进行电
【机 构】
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微米/纳米加工技术国家级重点实验室
【基金项目】
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航天科学技术基金资助项目（20C-JJ02-011）； 上海市科委专业技术服务平台资助项目（19DZ2291103）；
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为扩大流速传感器的测量量程和应用范围，设计并制造了一种双加热电阻柔性热膜式微电子机械系统（MEMS）流速传感器，它是由一对加热电阻（也可作为测温电阻）、一对测温电阻和一对环境测温补偿电阻组成。主要对该柔性MEMS流速传感器的测控电路进行仿真设计和风速测试实验研究。基于热温差和热损失的工作原理，使用Matlab/Simulink软件对热敏电阻进行数学建模，并使用Cadence/Pspice软件进行电路仿真分析，设计出了可适用于高速（10～30 m/s）、中速（1～10 m/s）和低速（0～1 m/s）的测控电路系统。风速测试实验实现了0～30 m/s的风速测量，结果表明，传感器的灵敏度最高为32.1 mV/（m/s）,在低风速段灵敏度也可达到5.5 mV/（m/s）。该传感器可贴于曲面应用，测量范围广，环境温度适应力强。
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