论文部分内容阅读
红外热释电探测器的关键是敏感元的研制,而敏感元主要是由具有一定图形的铁电薄膜和上下电极构成.采用半导体光刻工艺,利用化学腐蚀法成功地对PZT铁电薄膜进行了刻蚀,同时采用剥离技术对相应的电极实现了图形化.
红外热释电探测器的微图形化研究
【摘 要】
：
红外热释电探测器的关键是敏感元的研制,而敏感元主要是由具有一定图形的铁电薄膜和上下电极构成.采用半导体光刻工艺,利用化学腐蚀法成功地对PZT铁电薄膜进行了刻蚀,同时采
【机 构】
：
西安交通大学电子材料研究所,西安交通大学电子材料研究所,同济大学功能材料研究所
【出 处】
：
功能材料与器件学报
【发表日期】
：
2003年4期
其他文献
以TiCl3为钛源, 采用溶胶-凝胶法制备Mo6+掺杂TiO2基纳米粉体,表明在400℃下低温烧结,即可得到金红石相为主晶相的TiO2基敏感材料.在低温工作条件(145℃)及1×10-4 O2下,
用 CMOS工艺实现了非接触式 IC卡天线的集成化所需要考虑的多个方面,建立了集成天 线的模型,导出了合理的设计方案,并通过实验验证了模型和设计方案.实验结果表明,采用片 上
介绍一种圆盘型非接触超声波马达的结构.利用有限元法计算了超声波马达定子在不同振动模态下的固有频率,并用激光测振仪对定子进行了测试,结果两者吻合较好.由于振幅和非接触
北京 数据来源： 北京北辰亚运村汽车交易市场 （简称亚市） 2月新车交易同比下降-6.17%，环比降-59.72% 2017年1月份京城新车交易56600辆，同比增长23.85%，增幅高于全国0.85个百分点，环比增长9.06%，增幅高于全国26.65个百分点。京城1月份车市无论环比还是同比都是上升状态。无奈到了2月份，可谓变化很大，2月份的交易只是22800辆，同比去年同期24300辆，负
提出了内嵌功能材料记忆合金丝的弹性棒结构,建立了描述变形的方程式.研制的复合棒直径8mm、长40mm、重8g,最大弯曲曲率可达14.8m-1.以该复合棒为基本单元,设计并制作了组合