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以TiCl3为钛源, 采用溶胶-凝胶法制备Mo6+掺杂TiO2基纳米粉体,表明在400℃下低温烧结,即可得到金红石相为主晶相的TiO2基敏感材料.在低温工作条件(145℃)及1×10-4 O2下,Mo6+掺杂TiO2厚膜型气敏元件的氧敏特性比纯TiO2的好,并结合Zeta电位特性测量,其氧敏特性的增强在于表面电荷密度的提高.