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纳秒量级及以下脉宽激光致光学薄膜元件的损伤研究持续了几十年，但纳秒量级以上脉宽却很少提及。因此，针对10ns-1ms量级区间不同脉宽激光辐照光学薄膜元件产生的热损伤进行了研究，计算了高反膜、增透膜和干涉滤光片三种典型光学薄膜元件的温度场分布，并分析了其激光热损伤特性。结果表明，对于长脉宽激光，热扩散深度大，薄膜损伤的电场效应被削弱，热传导效应在损伤中占据主导地位，损伤可至基底；短脉宽激光损伤对薄膜内部的电场分布更为敏感，损伤发生在温度最高值附近的膜层区域。进而开展了10ns与1ms脉宽激光致光学薄膜元件的