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He离子注入单晶Si纳米气泡形成生长及其应用探讨
He离子注入单晶Si纳米气泡形成生长及其应用探讨
来源 :原子核物理评论 | 被引量 : 0次 | 上传用户:camelwin2000
【摘 要】
:
首先简述了He离子注入单晶Si引起的气泡形成、生长以及其它缺陷对其生长的影响, 介绍了Si中He气泡生长的可能微观机制以及它们在现代半导体技术中潜在的应用前景, 提出了该领
【作 者】
:
刘昌龙
【机 构】
:
天津大学理学院物理系
【出 处】
:
原子核物理评论
【发表日期】
:
2004年3期
【关键词】
:
单晶硅
氦离子注入
纳米气泡
生长机制
缺陷分析
He ion implantation silicon He bubble growth mechanism
【基金项目】
:
天津大学校科研和教改项目
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首先简述了He离子注入单晶Si引起的气泡形成、生长以及其它缺陷对其生长的影响, 介绍了Si中He气泡生长的可能微观机制以及它们在现代半导体技术中潜在的应用前景, 提出了该领域研究有待解决的关键问题.
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