【摘 要】
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It is predicted that CMOS technology will probably enter into 22 nm node around 2012. Scaling of CMOS logic technology from 32 to 22 nm node meets more critical
【机 构】
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DepartmentofMicroelectronics,SemiconductorManufacturingInternationalCorporation（SMIC）
【基金项目】
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Supported by the National Natural Science Foundation of China （Grant Nos. 60625403, 90207004）, and the National Basic Research Program of China （Grant No. 2006CB302701）
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It is predicted that CMOS technology will probably enter into 22 nm node around 2012. Scaling of CMOS logic technology from 32 to 22 nm node meets more critical issues and needs some significant changes of the technology, as well as integration of the adv
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