反应溅射CN薄膜的场发射特性

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：avim03

【摘要】

：

利用反应射频溅射方法在硅单晶衬底上沉积碳氮(CN)薄膜.原子力显微镜(AFM)研究结果表明,CN薄膜表面覆盖有纳米CN锥状物,所制备的CN薄膜具有良好的场发射特性,最大发射电流密

【作者】

：

林洪峰谢二庆张军颜小琴陈支勇

【机构】

：

兰州大学物理科学与技术学院

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2006年z1期

【关键词】

：

反应溅射 CN薄膜场发射

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目(批准号:60176002)

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

利用反应射频溅射方法在硅单晶衬底上沉积碳氮(CN)薄膜.原子力显微镜(AFM)研究结果表明,CN薄膜表面覆盖有纳米CN锥状物,所制备的CN薄膜具有良好的场发射特性,最大发射电流密度达到～10mA/cm2,并且未出现电流饱和现象.薄膜表面的CN纳米锥有利于薄膜的场发射,重复测量结果表明,CN薄膜的发射特性得到改善和提高.

其他文献

白云鄂博矿磁场作用下的强化还原研究

以典型的多金属共生矿——白云鄂博原矿为研究对象，针对其成分复杂、配碳直接还原反应温度较高、还原效率低的情况，借助磁场对化学反应的影响，实现白云鄂博矿的低温快速还原。研

期刊

白云鄂博矿磁场还原金属化率Bayan Obo ore magnetic field reduction metallization rate

高中化学学习兴趣培养重要性思考

化学课程进入高中阶段后会与初中阶段产生很大的不同,随着要求掌握的知识点数量增加、难度提高,学生对化学学习的信心也随之降低。除了牢靠的基础知识外,学生在高中阶段的化

期刊

学习兴趣培养高中化学高中阶段化学学习基础知识初中阶段化学课程学生

民生福地

幸福是什么？幸福是孩子们朗朗的读书声明媚了校园，幸福是老人们脸上洋溢的笑意舒展开了皱纹，幸福是欢声笑语同荡在宽敞亮堂的新居，幸福是安稳踏实没有后顾之忧……

期刊

民生幸福社会工作养老

电导法测量Si1—xGex／Si量子阱的能带偏移

本文分析了一个单量子阱的随频率变化的Ｇ－Ｖ特性，提出用电导法测量量子阱的能带偏。通过对一个Ｓｉ１－ｘＧｅｘ／Ｓｉ单量子阱的实验Ｇ－Ｖ曲线的分析，验证了这一方法的可靠性。

期刊

量子阱能带偏移电导法硅锗测量Semiconducting germanium compoundsSemiconductor quantum wel

无烟粉煤制型焦及用于化肥造气的研究

<正> 目前,炼焦已成为山西省有力的经济支柱产业,但无烟煤不能单独炼焦,而且无烟粉煤、末煤也不适宜直接燃烧。以无烟块煤为主造气的各大化肥企业,粉煤下脚料的积压量很大。

期刊

无烟煤型焦化肥造气粉煤成型

原煤流化床法制活性炭技术进展

<正> 一、前言目前世界活性炭年产量60万 t,主要生产国有美国、苏联、日本、德国和英国等。其中美国年产量近15万 t。预计全世界的活性炭产量将以每年10～15%的速度增长。由于

期刊

活性炭流化床煤

煤炭干燥技术及应用

本文介绍了我国煤炭干燥的现状及其新设备和新工艺。煤炭干燥技术也可用于炼焦工艺。炼焦精煤干燥预热装炉可以改善焦炭质量,提高焦炉产量。

期刊

煤干燥脱水干燥机

探究式学习在高中数学中的应用

在进行教育改革的现代社会,学生和老师在课堂的作用也发生了很大的转变。只有使用更新的教学方法,老师引导学生把被动的学习变成探究式的学习,那么课堂就成为了学生主要进行

期刊

探究高中数学应用

枝晶生长模型对双辊薄带连铸组织模拟的影响

枝晶生长模型的选择对于准确预测金属凝固组织有着决定性作用。LGK和KGT是目前应用较广的模型，分别使用LGK和KGT模型对凝固组织进行模拟比较，选择适用于双辊薄带连铸过程的枝晶

期刊

双辊薄带连铸数值模拟凝固组织LGK模型KGT模型twin-roll continuous cast numurical simulation so

在信息技术教学过程中,要注重师生的交往互动

我们都知道,教学是教师的教与学生的学的统一,而这种“统一”的实质就是交往。在《基础教育课程改革纲要(试行)》中,明文指出:“教师在教学过程中应与学生积极互动,共同发展,

期刊

教学过程信息技术课交往互动《基础教育课程改革纲要(试行)》师生培养能力传授知识学生

反应溅射CN薄膜的场发射特性

与本文相关的学术论文