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从课堂教学与实践教学整合角度出发,针对“微电子工艺”课程的教学模式、内容、教材等提出了将课堂/实验/实习3种不同教学形式作为一个课程模块,穿插进行,理论与实践彼此相互促进的整合教学模式,编写了教材,进行了初步实施及评价,获得了学生和微电子课程群其他课程主讲教师的肯定,评教结果为“A+”。