【摘 要】
：
微半球模具的三维对称性对半球谐振子的性能有着决定性的影响.提出使用热氧化工艺生长的SiO2材料作为掩膜层,以达到在使用HNA腐蚀溶液制作微半球陀螺谐振子模具的过程中加快
【机 构】
：
中国工程物理研究院 电子工程研究所,四川绵阳,621999
论文部分内容阅读
微半球模具的三维对称性对半球谐振子的性能有着决定性的影响.提出使用热氧化工艺生长的SiO2材料作为掩膜层,以达到在使用HNA腐蚀溶液制作微半球陀螺谐振子模具的过程中加快纵向腐蚀速率及实现半球模具三维对称的目的.详细研究了不同腐蚀窗初始半径下HNA腐蚀溶液对单晶硅进行纵向和侧向腐蚀时,其腐蚀深度和腐蚀速率的演化规律,并在此基础上通过设置适当的腐蚀窗初始半径(5μm)以及腐蚀时间(15 min),成功制作出了半径为38.937 7μm的三维对称半球谐振子模具,通过球度拟合证明该模具整体半径方差为0.789 3μm,球度偏差为2％,为半球谐振子三维对称性的提升奠定了基础.
其他文献
初见蔡广斌的作品，是被“影像水墨”四字所吸引，本以为是结合新媒体的装置或观念艺术，没想到作品竟这么“纯粹”。他的作品中有抒情的成分，也有观念的因素，而重重撞击我心灵的，是作品传达出的一种莫名的虚无和悲寂的存在感。这不由地把我带进萨特的世界，在孤独、烦恼、和焦虑中去寻找自我，限定自己。然后突然间担子重了，个体责任和群体责任突然加了进来，促使我去不断超越和思考自己的本质。“存在先于本质”，在他的作品中
温家宝总理在2011年政府工作报告中提出，“要千方百计扩大就业，继续把高校毕业生就业放在首位”，“十二五”规划纲要中，也体现了“平等就业”、“充分就业”的理念，这不仅充分体现
摘要：多媒体包括文本、图形、动画、静态视频、动态视频和声音等，这些媒体信息具有主动性和交互性，在化学教学中运用多媒体这一优势，可以直观地把物质现象摆在学生面前，这对加深学生的记忆和学习的兴趣，有事半功倍的效果。 关键词：多媒体；化学教学；学习兴趣 中图分类号：G633.8 文献标识码：A 文章编号：1992-7711（2014）09-0119 在传统的中学教学中，学生认识事物的过程由感知教材
胡敏出生于陕西省西安市高陵区鹿苑街道北樊村五组的一个普通农村家庭,2002年出生的她至今还未满18岁.幼年时,胡敏因家庭变故失去双亲,由叔父抚养长大,因此被高陵区政府确定
食品是关系人类生存繁衍、国家安危、社会发展的基本生活必需品,食品安全是一个关乎国计民生的重大问题和复杂的社会系统工程。近年来,食品安全事故的频繁发生使得食品安全问