制作亚50nm L／S图形的极紫外纳米光刻技术

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dragon98141

【摘要】

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极紫外光刻技术(EUVL,λ=13.4 nm)是为小于70 nm特征尺寸图形制作而开发的下一代光刻技术(NGL).在麦迪逊威斯康星大学开发的极紫外光刻系统中,极紫外光源是由电子存储环中的

【作者】

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Waikin Li 葛劢冲等

【机构】

：

不详,麦迪逊威斯康星大学电子计算机工程系WI53706

【出处】

：

电子工业专用设备

【发表日期】

：

2001年4期

【关键词】

：

极紫外光刻技术图形传输干涉光刻光抗蚀剂纳米光刻技术

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极紫外光刻技术(EUVL,λ=13.4 nm)是为小于70 nm特征尺寸图形制作而开发的下一代光刻技术(NGL).在麦迪逊威斯康星大学开发的极紫外光刻系统中,极紫外光源是由电子存储环中的波动器产生,为极紫外干涉光刻(EUV-IL)提供了瞬间空间相干光源.其成像系统采用了一个洛埃镜干涉仪.用EUV-IL制作的高分辨力图形进行极紫外光刻的抗蚀剂特性研究.验证了用EUV光源的干涉光刻技术制作19 nm线/间(L/S)条纹图形,同时报告了采用EUV-IL技术开发亚50 nm密集线/间图形的进展,并开始向制作120

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