【摘 要】
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利用有限元分析软件MARC,对冷却后的七层玻璃/铝静电键合试件进行数值模拟分析,获得了七层静电键舍冷却试件内残余应力应变分布.模拟结果表明,玻璃/铝键合试件冷却后,由于试
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利用有限元分析软件MARC,对冷却后的七层玻璃/铝静电键合试件进行数值模拟分析,获得了七层静电键舍冷却试件内残余应力应变分布.模拟结果表明,玻璃/铝键合试件冷却后,由于试件各处的冷却收缩量不同,试件冷却后内部存在残余应力应变,试件发生翘曲.等效应力分布规律表明,过渡层内的等效应力最大,铝层两侧过渡层和玻璃层内的等效应力分布关于铝层呈对称分布;铝层内的等效应力值达到了屈服强度,表明铝层发生了塑性变形,所以,铝层内的等效应变最大.
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