【摘 要】
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半导体设备及材料学会西部(SEMICON/West)会议于1990年5月22～24日在美国召开。有来自世界各地的1021家公司的产品参加了展出。参观人数约5万人次。 这次展出的半导体溅射、CV
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半导体设备及材料学会西部(SEMICON/West)会议于1990年5月22～24日在美国召开。有来自世界各地的1021家公司的产品参加了展出。参观人数约5万人次。 这次展出的半导体溅射、CVD刻蚀等新设备几乎都倾向于多室化,出现了针对ASIC的激光直接曝光装置和针对液晶的布线修理装置。很多人指出,展品比上一届减少是因为会议性
The SEMICON / West conference was held in the United States on May 22-24, 1990. Products from 1021 companies from all over the world participated in the exhibition. Visitors about 50,000 people. Almost all of the new devices such as semiconductor sputtering and CVD etching exhibited at this time tend to be multi-chambered. There have been laser direct exposure devices for ASICs and wiring repair devices for liquid crystals. Many people point out that the decrease of exhibits from the previous one was due to the meeting nature
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