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低压化学气相淀积多晶硅薄膜膜厚的分子动力学模拟
低压化学气相淀积多晶硅薄膜膜厚的分子动力学模拟
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wysaccp
【摘 要】
:
从分子动力学的观点出发,引入了吸附因子,建立了势壁低压化学气相淀积多晶硅薄膜的膜厚模型,在此进行计算机模拟。模拟结果与R.S.Rosler的实验结果相似,该模型从分子动力学的角度阐明了多晶
【作 者】
:
谢常青
【机 构】
:
中国科学院微电子中心三室
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1995年4期
【关键词】
:
低压
化学气相淀积
集成电路
多晶硅
薄膜膜厚
LPCVD
Sticking factor
Molecular dynamics
Computer sim
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从分子动力学的观点出发,引入了吸附因子,建立了势壁低压化学气相淀积多晶硅薄膜的膜厚模型,在此进行计算机模拟。模拟结果与R.S.Rosler的实验结果相似,该模型从分子动力学的角度阐明了多晶硅薄膜的生长过程。
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