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碳化硅材料由于其优良的电学、机械和化学特性,对于适用于高温恶劣环境下压力传感器等领域的开发,有着广阔的前景,逐渐为人们所重视。简单介绍了碳化硅的材料特性,阐述国外碳化硅高温压力传感器的最新发展成果,比较电容式、压阻式和光学结构压力传感器的结构、特点,分析我国碳化硅压力传感器发展问题与挑战。
碳化硅高温压力传感器的研究进展与展望
【摘 要】
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碳化硅材料由于其优良的电学、机械和化学特性,对于适用于高温恶劣环境下压力传感器等领域的开发,有着广阔的前景,逐渐为人们所重视。简单介绍了碳化硅的材料特性,阐述国外碳
【机 构】
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海军驻葫芦岛431厂军事代表室,清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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噪声与振动控制
【发表日期】
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2011年1期
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