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深度册步辐射光刻是ＬＩＧＡ技术的着急工艺环节。利用同步辐射Ｘ射一的高一产行性，硬射线的高强度，可以光刻出非常深的胶结构，并且这一结构有着很好的尺寸精度和生趣精度，对加工出微型机械结构，具有重要作用。
同步辐射X射线深度光刻实验
【摘 要】
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深度册步辐射光刻是ＬＩＧＡ技术的着急工艺环节。利用同步辐射Ｘ射一的高一产行性，硬射线的高强度，可以光刻出非常深的胶结构，并且这一结构有着很好的尺寸精度和生趣精度，对加工出微型机械
【机 构】
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中科院高能物理研究所同步辐射室!北京,中科院化学研究所!北京
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1997年2期
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