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采用真空等离子沉积的类金刚石膜，它属于一种超薄性的薄膜。在诸多的测量方法中，本文采用了椭圆偏振光测量法来测量薄膜的厚度。该方法运用布鲁斯特角，并根据起偏器、栓偏器和四分之一波片精确测量了薄膜的厚度。在测量薄膜厚度的同时也可知道所沉积膜的均匀性情况。
类金刚石薄膜厚度的测量
【摘 要】
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采用真空等离子沉积的类金刚石膜，它属于一种超薄性的薄膜。在诸多的测量方法中，本文采用了椭圆偏振光测量法来测量薄膜的厚度。该方法运用布鲁斯特角，并根据起偏器、栓偏器和四
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2000年2期
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