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为了提高复杂集成电路装备制造质量,介绍了一款适用于集成电路装备制造的智能化装配平台.通过智能调度系统,将不同功能模块组合成可以完成不同生产模式的柔性装配平台,在光刻机精密运动台装配中使用,可提高装配的一致性和质量,实现了闭环装配与数字化装配,提升了零部件装配质量与效率.
集成电路装备的智能装配平台研究
【摘 要】
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为了提高复杂集成电路装备制造质量,介绍了一款适用于集成电路装备制造的智能化装配平台.通过智能调度系统,将不同功能模块组合成可以完成不同生产模式的柔性装配平台,在光刻机精密运动台装配中使用,可提高装配的一致性和质量,实现了闭环装配与数字化装配,提升了零部件装配质量与效率.
【机 构】
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上海微电子装备(集团)股份有限公司,上海 201203
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2021年6期
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