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ＫＯＨ碱性蚀液的ＰＮ结自致蚀停电化学腐 技术是制备硅三维微结构的基本方法之一。本文详细研究了它在９０℃下的ＰＮ结自致蚀停的基本特性，并发展了一种简化的三电极系统。
KOH蚀液的PN结自致蚀停技术研究
【摘 要】
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ＫＯＨ碱性蚀液的ＰＮ结自致蚀停电化学腐 技术是制备硅三维微结构的基本方法之一。本文详细研究了它在９０℃下的ＰＮ结自致蚀停的基本特性，并发展了一种简化的三电极系统。
【机 构】
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上海交通大学
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1997年2期
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