【摘 要】
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通过对比2688B,2688S,2688 3种工艺技术生产的彩色电视机高频视放晶体管的CB结反向漏电流Icbo和电噪声谱密度Svcb(f),论述了界面态和表面可动电荷能够引起晶体管表面漏电流,
【机 构】
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集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学分区
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通过对比2688B,2688S,2688 3种工艺技术生产的彩色电视机高频视放晶体管的CB结反向漏电流Icbo和电噪声谱密度Svcb(f),论述了界面态和表面可动电荷能够引起晶体管表面漏电流,从而使器件产生电噪声,并间接影响到反向击穿电压、小电流放大系数等参数.实验表明,采用合适的表面钝化技术,可有效控制晶体管的表面漏电流,降低晶体管的电噪声,使器件的可靠性、稳定性及其使用寿命得到提高.
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