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随着MEMS技术的飞速发展,各种MEMS器件和系统相继问世,MEMS气敏传感器是其中之一.本文重点介绍了7种MEMS气敏传感器.
MEMS气敏传感器
【摘 要】
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随着MEMS技术的飞速发展,各种MEMS器件和系统相继问世,MEMS气敏传感器是其中之一.本文重点介绍了7种MEMS气敏传感器.
【机 构】
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上海交通大学
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2003年2期
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