《研究与发展》杂志评选(1987年)获胜项目100项

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准稳态 CV 计(595型)(Analytical Instruments)产品编号:10181 R468内容摘要:利用电荷反馈测量方法使研究人员得以用它描述半导体片子的特性,并测定其质量。此方法是对半导体施加一个“阶梯”电压,从而在每一个电压跃迁过程产生电荷的变化。电荷的变化量通过一个由灵敏放大器和精密反馈电容组成的电荷反馈 (595) (Analytical Instruments) Product ID: 10181 R468 Abstract: Using charge-feedback measurements allows researchers to characterize and determine the quality of semiconductor wafers. This method applies a “ladder” voltage to the semiconductor to create a charge change during each voltage transition. The amount of change in charge through a sense amplifier and precision feedback capacitor charge feedback
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