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本文根据在调试分子束外延（MBE）系统过程中，使用反射式高能电子衍射（RHEED）对GaAs样品实时监控得到的图片进行分析，从而总结出在MBE外延生长实验中对采用的GaAs样品的化学清洗方法。
MBE系统中GaAs样品的RHEED分析
【摘 要】
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本文根据在调试分子束外延（MBE）系统过程中，使用反射式高能电子衍射（RHEED）对GaAs样品实时监控得到的图片进行分析，从而总结出在MBE外延生长实验中对采用的GaAs样品的化学清洗方法
【机 构】
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贵州大学理学院,贵州省微纳电子与软件技术重点实验室
【出 处】
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现代机械
【发表日期】
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2009年3期
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