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由于加工因素的变化和材料的非理想特性，使得实际粗糙表面形貌表现出非稳定随机性，从而导致其表征参数随测量条件的改变而发生变化。本文综述了引起参数变化的各种可能原因，探讨了各参数变化对表面形貌变化的敏感性。通过把表面表征参数作为随机变量，并把实际工程表面描述为多个具有不同均值和方差的独立高斯分布表面的组合，对参数的变化进行了统计分析。