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采用约束刻蚀剂层技术，以亚硝酸钠为先驱物，通过电化学氧化产生刻蚀剂（硝酸）刻蚀铝，并以NaOH为捕捉剂，在电极模板上形成约束刻蚀剂层．在金属铝表面加工出梯型槽微结构，加工分辨率约为500nm.通过测量表面氢离子浓度，对捕捉剂的约束效果进行了分析．
约束刻蚀剂层技术对金属铝的微结构加工研究
【摘 要】
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采用约束刻蚀剂层技术，以亚硝酸钠为先驱物，通过电化学氧化产生刻蚀剂（硝酸）刻蚀铝，并以NaOH为捕捉剂，在电极模板上形成约束刻蚀剂层．在金属铝表面加工出梯型槽微结构，加工分辨率约为
【机 构】
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厦门大学化学化工学院固体表面物理化学国家重点实验室,南昌航空工业学院材料系
【出 处】
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高等学校化学学报
【发表日期】
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2006年8期
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