【摘 要】
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利用弹光调制器的偏振调制优势,提出了将弹光调制器和电光调制器级联的组合相位调制型椭偏测量术。该技术采用单光路实现信号探测,通过切换电光调制器的两个工作状态,并结合
【机 构】
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中北大学信息与通信工程学院,山西省光电信息与仪器工程技术研究中心,中北大学电子测试技术重点实验室
【基金项目】
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国家国际科技合作专项（No.2013DFR10150）, 国家自然科学基金资助项目（No.61127015,No.61471325,No.61505179, 山西省青年科技研究基金资助项目（No.2014021012）
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利用弹光调制器的偏振调制优势,提出了将弹光调制器和电光调制器级联的组合相位调制型椭偏测量术。该技术采用单光路实现信号探测,通过切换电光调制器的两个工作状态,并结合数字锁相信号处理技术来完成样品反射光的p分量和s分量的幅值比Ψ和相位差Δ的全范围高精度测量。对提出的新型椭偏测量原理进行了分析,搭建了相应的实验系统。完成了弹光调制器的调制电压峰峰值和相位调制幅值关系的定标,定标结果优于99.05%,然后还采用系统初始偏移值的方法对实验系统进行了校准。最后,运用该系统对石英玻璃反射样品进行了实验分析,得到的Ψ和Δ
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