【摘 要】
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针对微陀螺高精度和微型化的发展趋势,依据振弦式陀螺的工作原理建立了圆壳体振弦式陀螺驱动模型;应用Ansys软件分析了驱动中U形折叠梁结构参数以及内环驱动结构参数对驱动的影响,优化了驱动结构并建立了振动响应仿真分析.结果表明:圆壳体振弦式陀螺受驱动方向和驱动垂直方向的重力影响较大但变形小于1μm,优化后的U形折叠梁沿z方向有足够的刚性,可降低振弦式陀螺受z方向重力加速度的影响,且从谐响应分析中得出驱动峰值频率为3500 Hz,最大应力为132 kPa,幅值为9.27μm.从而验证了所提出的驱动模型的可行性,
【机 构】
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南昌理工学院省级重点实验室,江西南昌330044;中国铁路广州局集团有限公司广州车辆段,广东广州510080;华东交通大学机电与车辆工程学院,江西南昌330013
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针对微陀螺高精度和微型化的发展趋势,依据振弦式陀螺的工作原理建立了圆壳体振弦式陀螺驱动模型;应用Ansys软件分析了驱动中U形折叠梁结构参数以及内环驱动结构参数对驱动的影响,优化了驱动结构并建立了振动响应仿真分析.结果表明:圆壳体振弦式陀螺受驱动方向和驱动垂直方向的重力影响较大但变形小于1μm,优化后的U形折叠梁沿z方向有足够的刚性,可降低振弦式陀螺受z方向重力加速度的影响,且从谐响应分析中得出驱动峰值频率为3500 Hz,最大应力为132 kPa,幅值为9.27μm.从而验证了所提出的驱动模型的可行性,为实际产品试制研究奠定理论基础.
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金属氧化物半导体气体传感器在环境空气质量监测、有毒有害气体检测以及某些疾病初步诊断等方面具有良好的应用价值与潜力.综述了近些年针对提升金属氧化物半导体气体传感器性能的改性研究进展,从对本体材料掺杂、修饰以及复合等多方面探讨改性措施对金属氧化物半导体气体传感器性能的改善提升作用,并展望了金属氧化物半导体气体传感器未来的发展方向.
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研究了退火温度对铂薄膜微观结构和电学性能的影响.在高曲率微小金属探针表面原位制造铂薄膜温度探测器,在450,500,550℃条件下进行退火.研究了不同厚度SiO2薄膜对铂薄膜表面形貌的影响,重点介绍了经过不同温度退火后铂薄膜表面形貌和电学性能变化及其两者之间的相关性.实验结果表明:在金属探针表面制备2μm的SiO2薄膜,既可以达到绝缘的效果,也可以保证粘附性.铂薄膜温度探测器初始电阻值、灵敏度和迟滞都有较大提高.但温度越高,对铂薄膜温度探测器的线性度影响越小.由于初始电阻值的变化幅度明显大于斜率ΔT/ΔR
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