【摘 要】
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报道了用CF4和氩气Ar作为工作气体的ECR反应离子刻蚀多晶硅 (poly Si)技术。研究了Ar气含量的变化对刻蚀速率和各向异性的影响 ,并对实验结果进行了分析。实验中气压为 0 .5P
【机 构】
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武汉化工学院等离子体化学与新材料重点实验室
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报道了用CF4和氩气Ar作为工作气体的ECR反应离子刻蚀多晶硅 (poly Si)技术。研究了Ar气含量的变化对刻蚀速率和各向异性的影响 ,并对实验结果进行了分析。实验中气压为 0 .5Pa ,混合气体中流量保持 5 0sccm( 1cm3 /minstandardcubiccentimeter/minute) ,Ar气含量在 0～ 5 0 %范围内变化 ,对应的刻蚀速率在 46～ 10sccm范围内
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