合成β—SiCw的催化剂熔球机理研究

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:congmingwangzi
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本文用扫描电镜(SEM)研究了合成β-SiCw的反应过程和晶须的生长机理。通过对催化剂熔球的元素含量分析,发现β-SiCw的形成过程属气-液-固(VLS)三相反应过程,反应体系中含硅、碳的物质熔解在催化剂熔球中反应生成SiC,SiC在催化剂熔球的定向修正作用下沿(111)面结晶形成β-SiCw。用此方法合成β-SiCw反应速度快,晶须质量好,晶须生成率高。
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