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大多数MEMS器件(如梁、膜等)工作时本身是非线性的,因此很难用刚体假设的方法等效为集总参数的宏模型.模态分析法提供了一种有效的方法.本文以静电驱动两端固定梁为例,介绍了存在机电耦合时的公式,然后利用硬件描述语言VHDL-AMS对其描述,建立相应的动态宏模型,给出了模拟和分析结果,并与利用Coventor软件分析的结果进行了比较.