Polymer／SiAWG器件材料光学性质的准确测量

来源 :吉林大学学报：理学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：datoufangyuan

【摘要】

：

使用WVASE32型椭偏仪, 对Si基单层有机薄膜的测量方法进行分析; 并对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材料和氟化聚酯材料进行测量, 根据测量结果对阵列波导光栅(AWG)器件进行设计. 在

【作者】

：

姜文海侯小柯崔占臣张大明

【机构】

：

集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林大学

【出处】

：

吉林大学学报：理学版

【发表日期】

：

2005年2期

【关键词】

：

列阵波导光栅聚合物光学系数椭偏仪 arrayed waveguide grating polymer optical coefficient ell

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划(863计划)，国家重点基础研究发展计划(973计划)，国家自然科学基金

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使用WVASE32型椭偏仪, 对Si基单层有机薄膜的测量方法进行分析; 并对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材料和氟化聚酯材料进行测量, 根据测量结果对阵列波导光栅(AWG)器件进行设计. 在124 nm到1 700 nm之间可测量出任意波长的折射率, 其均方差(MSE)均远小于1, 证明测量结果极其准确. 同时探讨了对多层有机薄膜及氟化聚合物薄膜的测量方法.

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