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论文对合肥同步辐射光源开展深度X-射线光刻进行了理论模拟。利用Gauss积分法研究了菲涅耳衍射对深度光刻图形精度的影响。为了模拟衬底产生的光电子对光刻结果的影响，构建了一个Monte Carlo模型并进行了模拟。计算结果表明，合肥光源深度光刻的图形精度较高。
合肥光源深X—射线光刻模拟
【摘 要】
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论文对合肥同步辐射光源开展深度X-射线光刻进行了理论模拟。利用Gauss积分法研究了菲涅耳衍射对深度光刻图形精度的影响。为了模拟衬底产生的光电子对光刻结果的影响，构建了
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室,复旦大学同步辐射研究中心
【出 处】
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中国科学技术大学学报
【发表日期】
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2002年6期
【基金项目】
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国家重点基础研究发展规划课题 (G19990 3310 9)资助项目
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