【摘 要】
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采用射频磁控溅射法制备了Nb掺杂ZnO薄膜，分析了溅射气压对NZO薄膜的结构及光电性能的影响。结果显示：当溅射气压分别为3.4 Pa、5.4 Pa和8.4 Pa的NZO薄膜中，当功率为5.4 Pa时，薄膜表面致密性和均匀性较好，晶粒尺寸较大，光学带隙从3.4 eV展宽3.52 eV，平均透过率达到86%以上，薄膜的综合性能最好。适当提高溅射气压可以提高薄膜的结晶程度，从而改善薄膜的光电性能。
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采用射频磁控溅射法制备了Nb掺杂ZnO薄膜，分析了溅射气压对NZO薄膜的结构及光电性能的影响。结果显示：当溅射气压分别为3.4 Pa、5.4 Pa和8.4 Pa的NZO薄膜中，当功率为5.4 Pa时，薄膜表面致密性和均匀性较好，晶粒尺寸较大，光学带隙从3.4 eV展宽3.52 eV，平均透过率达到86%以上，薄膜的综合性能最好。适当提高溅射气压可以提高薄膜的结晶程度，从而改善薄膜的光电性能。
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