【摘 要】
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讨论在标准0.18μmCMOS逻辑平台上加入一次性编程单元(OTPCell)后,工艺所面临的问题。由于OTPCell的设计尺寸远小于0.18μm技术代的设计要求,导致用传统工艺对OTPCell中具有
【基金项目】
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上海市经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项基金(1500223)
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讨论在标准0.18μmCMOS逻辑平台上加入一次性编程单元(OTPCell)后,工艺所面临的问题。由于OTPCell的设计尺寸远小于0.18μm技术代的设计要求,导致用传统工艺对OTPCell中具有高纵横比的间距进行填充时,会出现空洞。该空洞贯通前后接触孔(CT),使得后续在沉积TiN时,TiN会残留在空洞侧壁上,使相邻接触孔短路,从而导致OTP失效。为了解决这个问题,从多个方面进行了方案设计,包括硼磷硅玻璃(BPSG)中硼(B)和磷(P)的浓度,BPSG的厚度,回流温度以及在BPSG之前先沉积一层高密度
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