【摘 要】
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微型机械的制造正迅速成为小型化技术的前沿领域。有着微米量级可移动部分的机械在化学分析、生物分析和光学信息处理中已经有了样机。拥有上百万可移动小镜的设备可能将很快
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微型机械的制造正迅速成为小型化技术的前沿领域。有着微米量级可移动部分的机械在化学分析、生物分析和光学信息处理中已经有了样机。拥有上百万可移动小镜的设备可能将很快替代电影院里的传统电影放映机,用来消除电影观众已经忍受了数十年的划痕和斑点。精微的压力计和加速计
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